第十六~二十窟是云冈最早开凿的一组洞窟,因系著名高僧昙曜主持营建,故称“昙曜五窟”。窟制相同,平面呈马蹄形,穹窿顶,窟内造像以三世佛为主,主像雕饰奇伟,冠于一世,分别象征着北魏的五位皇帝。
第十六、十七窟是一组。第十六窟主像为释迦立佛,高13. 5米,波纹状发髻,清秀俊逸。佛像身穿褒衣博带式袈裟,胸前结带下垂,属北魏太和年间推行汉化时的服制。